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更新時間:2025-09-23
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真空計作為測量真空度的精密儀器,其操作規(guī)范性直接影響測量精度與設備壽命,需嚴格遵循以下注意事項:
一、使用前準備階段
1.設備選型核對
l確認真空計類型與測量范圍匹配應用場景(如熱偶真空計適用于低真空,電離真空計適用于高真空),避免超量程使用導致?lián)p壞。
l檢查真空計與真空系統(tǒng)的連接接口規(guī)格(如 KF、ISO 標準),確保密封件(O 型圈、墊片)無老化、變形,必要時更換新密封件。
2.狀態(tài)檢查
l外觀檢查:查看顯示屏、按鍵、連接線纜是否完好,無破損或松動;金屬部件無銹蝕,玻璃管(如麥氏真空計)無裂痕。
l電源檢查:確認供電電壓與真空計額定電壓一致(如 220V AC 或 12V DC),接通電源前檢查電源開關處于 “OFF" 狀態(tài),避免通電沖擊。
3.系統(tǒng)預處理
l若真空系統(tǒng)長期未使用,需先對系統(tǒng)進行清潔與干燥,去除殘留油污或水汽;連接真空計前,先啟動真空泵對系統(tǒng)預抽真空,排除大氣雜質。
二、使用中操作規(guī)范
1.啟動與校準
l按設備說明書逐步啟動,部分真空計(如電容薄膜真空計)需預熱(通常 10-30 分鐘),待顯示屏數(shù)值穩(wěn)定后再進行測量。
l定期(建議每 3-6 個月)使用標準真空源進行校準,確保測量誤差在允許范圍內(nèi)(一般≤±5%);若測量數(shù)據(jù)異常,需先排查是否需重新校準,而非直接調(diào)整設備參數(shù)。
2.測量過程監(jiān)控
l實時觀察真空度變化曲線,若出現(xiàn)數(shù)值驟升(如從高真空快速回到大氣壓),立即關閉真空計電源,檢查系統(tǒng)是否漏氣(可用氦質譜檢漏儀檢測)。
l避免真空計在劇烈震動環(huán)境下工作(如靠近大功率泵體),必要時加裝減震支架,防止內(nèi)部傳感器(如熱絲、薄膜)損壞。
l禁止在真空系統(tǒng)未達到低安全真空度時,啟動高靈敏度真空計(如電離真空計),以免油氣污染傳感器。
三、使用后維護與存儲
1.設備清潔
l斷開電源后,用無塵布蘸取無水乙醇擦拭設備表面,去除灰塵與油污;連接接口處需用專用堵頭密封,防止雜質進入。
l對于麥氏真空計等玻璃器件,若內(nèi)部出現(xiàn)油污,可注入適量Ether浸泡后,通過真空泵抽除清潔液,避免劃傷玻璃壁。
2.長期存儲要求
l存儲環(huán)境需滿足:溫度 5-35℃,濕度≤60%,無腐蝕性氣體(如氯氣、氨氣)。
l真空計需直立放置,避免重壓或堆疊;長期不使用時,建議每月通電預熱 1 次(每次 30 分鐘),防止內(nèi)部電路受潮。
四、特殊情況處理
1.突發(fā)故障應對
l若測量時顯示屏無反應,先檢查電源連接與保險絲;若熱偶真空計熱絲斷裂,需關閉電源后聯(lián)系專業(yè)人員更換,禁止自行拆解。
l真空系統(tǒng)漏氣導致數(shù)值異常時,需先關閉真空泵與真空計,待系統(tǒng)回大氣后,逐一檢查連接部位的密封情況。
2.安全防護
l操作電離真空計時,需佩戴絕緣手套,避免高壓觸電;玻璃材質真空計破損時,需用專用工具清理碎片,防止劃傷。
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